中科仪干式真空泵突破先进制程 受益全球晶圆扩产潮

时间：2026年09月02日 10:02:17 中财网

　　CFi.CN讯：数据显示，中科仪(920186)干式真空泵已实现先进制程清洁工艺批量应用，并完成苛刻工艺产品开发与测试；公司是唯一覆盖半导体清洁、中等、苛刻三类工艺的国产真空泵厂商。2026年全球半导体设备销售额达365.5亿美元，同比增长14%，SEMI预计2026—2029年全球300mm晶圆厂设备支出年复合增速超10%，其中存储领域2026年投资同比增29%。

　　
　　近期机构研报指出，AI驱动算力基建加速，带动晶圆厂在先进制程、HBM、DRAM等领域密集扩产，设备国产替代节奏加快。研报认为，中科仪IPO募资7.79亿元投向产能扩张与新一代产品研发，20,040台/年干式真空泵产线建成后将显著提升供货能力；H系列泵、集成泵组及大抽速螺杆泵布局，有望打开泛半导体与科研仪器增量市场。

　　
　　研报指出，技术壁垒+全工艺覆盖+优质客户验证，使公司成为国产真空核心部件稀缺标的，行业扩容与替代双轮驱动下，订单能见度和份额提升逻辑清晰。